Apparatus for depositing organic thin film

유기박막 증착장치

Abstract

본 발명은 이동이 가능한 증착소스유닛 및 각도제한부재를 구비하여 균일한 유기박막을 형성할 수 있는 유기박막 증착장치를 제공하는 것을 목적으로 하며, 이 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 유기물 가스를 방출하며 증착 공정 시 이동이 가능한 증착소스유닛과, 적어도 일부가 상기 유기물 가스의 방출경로 상에 형성되어 상기 유기물 가스의 방출방향의 각도를 제한하는 각도제한부재와, 상기 증착소스유닛 및 상기 각도제한부재를 이동시키는 이송수단을 포함하는 유기박막 증착장치를 제공한다.

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    US-8616930-B1December 31, 2013Samsung Display Co., Ltd.Depositing apparatus and method for manufacturing organic light emitting diode display using the same
    US-8889551-B2November 18, 2014Samsung Display Co., Ltd.Depositing device and method for manufacturing organic light emitting diode display using the same