이중 퓨즈 박스 제조 방법

Method for manufacturing double fuse box

Abstract

A method for fabricating a dual fuse box is provided to fabricate two fuse boxes on the same area without an additional process by forming a second fuse line of a zigzag type made of aluminum between first fuse lines made of plate poly. A first fuse layer(10) is formed in a fuse box region, made of polysilicon constituting a plate electrode of a capacitor. A first metal interconnection layer is formed on the first fuse layer. An etch process using the first metal interconnection mask is performed to form a second fuse layer(14) on an upper layer of the first fuse layer. The second fuse layer can be made of aluminum. A guard ring can be formed in the outer part of the first fuse layer in the fuse box region.
본 발명은 이중 퓨즈 박스 제조 방법에 관한 것으로서, 특히, 플레이트 폴리로 이루어진 제 1퓨즈라인 사이에 알루미늄으로 이루어진 제 2퓨즈라인을 형성하여 추가적인 공정의 수행 없이 동일한 면적 상에서 2개의 퓨즈 박스를 제조할 수 있도록 하는 기술을 개시한다. 이러한 본 발명은 퓨즈 박스 영역에서 플레이트 폴리로 이루어진 제 1퓨즈층을 형성하고, 제 1퓨즈층의 상부에 제 1금속 배선층을 형성하는 단계에서 제 1금속배선 마스크를 이용한 식각 공정을 수행하여 제 1퓨즈층의 상부 레이어에서 제 1퓨즈층의 사이사이에 지그재그 패턴으로 제 2퓨즈층을 형성한다.

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