Piezoelectric inkjet printhead and method of manufacturing the same

압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법

Abstract

A piezoelectric type inkjet print head and a method for manufacturing the same are provided to be realized on two silicon substrate for a further improved ink discharging performance and a further simplified manufacture process. A piezoelectric type inkjet print head includes a top substrate(100) and a bottom substrate(200). An ink oil path is formed on the top substrate and the bottom substrate. The bottom substrate comprises a SOI(Silicon On Insulator) wafer used in a manufacture of a semiconductor integrated circuit. The top substrate plays a role of a vibration plate changed by a piezoelectric actuator(190) and is manufactured from a single crystal silicon substrate and the SOI substrate. The piezoelectric actuator is formed on the top substrate. A silicon oxide layer(180) is formed between the top substrate and the piezoelectric actuator.
압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드는 적층되어 서로 접합된 두 개의 기판으로 구성된다. 상부 기판은 단결정 실리콘 기판이나 SOI 기판으로 제조될 수 있으며, 여기에는 잉크 인렛이 관통 형성된다. 하부 기판은 제1실리콘층과 중간 산화막과 제2실리콘층이 순차 적층된 구조를 가진 SOI 기판으로 제조되며, 제2실리콘층에는 습식 식각 또는 건식 식각에 의해 매니폴드와 다수의 압력 챔버와 다수의 댐퍼가 형성되고, 중간 산화막과 제1실리콘층에는 건식 식각에 의해 다수의 노즐이 관통 형성된다. 상부 기판상에는 다수의 압력 챔버 각각에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터가 형성된다. 이와 같은 구성에 의하면, 종래에 비해 사용되는 기판의 수가 감소하므로 제조 공정이 단순화되고 제조 원가가 감소할 뿐만 아니라 식각 정지층으로서의 역할을 하는 중간 산화막에 의해 다수의 노즐의 길이가 균일하게 유지되므로 잉크 토출 성능이 향상된다.

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