Apparatus for measuring paticle

파티클 측정 장치

Abstract

A particle measurement apparatus is provided to measure the number of particles of a low pressure gas by performing the dilution of external air using a buffer chamber, a purge filter and a predetermined filter. A particle measurement apparatus includes a chamber(110) for collecting and buffering a predetermined gas, a purge filter, a predetermined filter and a particle counter. The purge filter(108) is used for changing the pressure of an inner space of the chamber into the atmospheric pressure. The predetermined filter(118) supplies the deficiency of a sample air flow by filtering the external air supplied into the chamber. The particle counter(102) is connected with the chamber in order to measure the number of particles of the external air.
본 발명은 저압용 가스 및 챔버 내부의 파티클 수량을 측정하기 위한 파티클 측정 장치에 관한 것이다. 본 발명의 파티클 측정 장치는 저압의 가스 또는 일정 압력의 버퍼 챔버 내부의 파티클 수량을 측정한다. 따라서 본 발명의 파티클 측정 장치는 버퍼 챔버 내부의 압력을 대기압 상태로 제어하고, 유량이 부족한 경우, 외부로 퍼지하여 버퍼 챔버의 내부 압력을 조절한다. 그리고 샘플 유량이 부족할 경우, 외부의 공기를 필터링하여 공급함으로써 벌크 가스 및/또는 챔버 내부의 파티클을 저압으로 측정할 수 있다.

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